发明名称 FILTERED CATHODIC ARC SOURCE
摘要
申请公布号 EP0811236(A2) 申请公布日期 1997.12.10
申请号 EP19960903119 申请日期 1996.02.20
申请人 AVIMO GROUP LIMITED 发明人 SHI, XU;FLYNN, DAVID, IAN;TAY, BENG, KANG;TAN, HONG, SIANG
分类号 C23C14/22;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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