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发明名称 HIGH FREQUENCY INDUCTION PLASMA METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0799557(A4) 申请公布日期 1997.12.10
申请号 EP19950944235 申请日期 1995.12.22
申请人 RESEARCH TRIANGLE INSTITUTE 发明人 RUDDER, RONALD, ALAN;HENDRY, ROBERT, CARLISLE;HUDSON, GEORGE, CARLTON
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/507;C23F4/00;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/02;C23F1/00;C03C15/00;C03C25/06;C23C16/00 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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