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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09312272(A) 申请公布日期 1997.12.02
申请号 JP19960150044 申请日期 1996.05.21
申请人 ANELVA CORP 发明人 KOBAYASHI MASAHIKO
分类号 C23C14/34;C23C14/04;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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