| 发明名称 |
SILICON CARBIDE THIN COATING STRUCTURAL BODY AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09310170(A) |
申请公布日期 |
1997.12.02 |
| 申请号 |
JP19960150085 |
申请日期 |
1996.05.21 |
| 申请人 |
HOYA CORP |
发明人 |
MITSUI HIDEAKI;NAGASAWA HIROYUKI |
| 分类号 |
C30B25/02;B01J19/08;B81B1/00;B81C1/00;C23C14/10;C30B29/36;H01L21/205;(IPC1-7):C23C14/10 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
