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发明名称 MANUFACTURE OF MOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09307001(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960118589 申请日期 1996.05.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MAMETANI TOMOHARU
分类号 H01L27/092;H01L21/265;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
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