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发明名称 FORMING BARRIER FILM
摘要
申请公布号 JPH09306870(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960120436 申请日期 1996.05.15
申请人 NEC CORP 发明人 OSHITA YOSHIO
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
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