发明名称 PROBE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09304457(A) 申请公布日期 1997.11.28
申请号 JP19960120336 申请日期 1996.05.15
申请人 NEC CORP 发明人 OE SHUICHI
分类号 G01R29/08;G01R27/06;G01R33/10;(IPC1-7):G01R29/08 主分类号 G01R29/08
代理机构 代理人
主权项
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