Kontrolle der elektrostatischen Entladung während der Entfernung von Verunreinigungen von Oberflächen mit Hilfe eines Düsenstrahls,申请号DE19936010660T-传众专利搜索

发明名称	Kontrolle der elektrostatischen Entladung während der Entfernung von Verunreinigungen von Oberflächen mit Hilfe eines Düsenstrahls
摘要
申请公布号	DE69310660(T2)	申请公布日期	1997.11.27
申请号	DE19936010660T	申请日期	1993.09.22
申请人	HUGHES AIRCRAFT CO., LOS ANGELES, CALIF., US	发明人	KRONE-SCHMIDT, WILFRIED, FULLERTON, CALIFORNIA 92633, US;DI MILIA, EDWARD S., GARDENA, CALIFORNIA 90247, US;SLATTERY, MICHAEL J., GARDENA, CALIFORNIA 90249, US
分类号	B05B12/00;B08B6/00;B08B7/00;B08B7/02;B24C1/00;B24C3/32;H01L21/00;H05F3/04;(IPC1-7):B24C1/00;B08B5/02	主分类号	B05B12/00
代理机构		代理人
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