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发明名称 Verfahren zur Entfernung einer Oxidschicht auf einem Substrat
摘要
申请公布号 DE68928402(D1) 申请公布日期 1997.11.27
申请号 DE19896028402 申请日期 1989.12.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 NISHINO, HIROTAKA, KOHOKU-KU YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;HAYASAKA, NOBUO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;OKANO, HARUO, OTA-KU TOKYO, JP
分类号 H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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