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发明名称 Verdampfereinheit zur Verdampfung von Materialien im elektrischen Vakuumbogen
摘要
申请公布号 DE19521419(C2) 申请公布日期 1997.11.27
申请号 DE19951021419 申请日期 1995.06.14
申请人 GESELLSCHAFT FUER PLASMA APPLIKATION MBH, 51379 LEVERKUSEN, DE 发明人 LOHMANN, HANS-JUERGEN, 51379 LEVERKUSEN, DE
分类号 C23C14/32;H05H1/48;(IPC1-7):H05H1/48;C23C14/22;H01J37/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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