一种夹板式X光光刻对准装置

摘要

一种夹板式X光光刻对准装置，涉及到由装配有X光光刻掩模的上基板，放置固定被加工基片的下基板，以及连结环三个主要部分组成的装置；利用该装置在常规光刻机上将掩模图形与基片图形对准并控制它们之间距离，通过把装置固定成一体来固定图形相对位置，再把装置送到X光光刻束线中曝光，实现器件制作中的图形对准X光光刻。

主权项

1、一种夹板式X光光刻对准装置，其特征是：由上 基板、下基板和连结环三个主要部份组成，用于在常规光 刻机上实现X光光刻掩模和基片图形对准的装置；上基板 为带有与连结环连结固定部位的园形或方形板状体，其上 装贴固定X光光刻掩模，在对准中起常规光刻掩模版作用， 其外形尺寸与光刻机版架要求相匹配；下基板为带有与连 结环连结固定部位的园形板状体，用于安放固定被加工基 片，其外形尺寸与光刻机放片台要求相匹配；连结环为带 有与上、下基板连结部位的上下端面为平行平面的园环， 用于将上下基板连结固定成一整体，由环的上下平行平面 距离控制上、下基板间距；对准操作时先将连结环与上基 板或下基板连结固定，在光刻机上，实现了掩模和基片图 形对准后，再将连结环与另一基板连结固定，使装置成为 固定相对位置的整体，再从光刻机中移出到X光光刻束线 中曝光。