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发明名称
摘要
申请公布号 JP2682476(B2) 申请公布日期 1997.11.26
申请号 JP19940287742 申请日期 1994.11.22
申请人 发明人
分类号 C30B25/10;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/10
代理机构 代理人
主权项
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