发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0123887(B1) 申请公布日期 1997.11.25
申请号 KR19940003931 申请日期 1994.03.02
申请人 NEC KK. 发明人 YAMADA, YOSHIAKI
分类号 H01L21/203;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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