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发明名称 ETCHING PROCESSING METHOD AND ETCHING PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09302481(A) 申请公布日期 1997.11.25
申请号 JP19960116422 申请日期 1996.05.10
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 KITA ISATO
分类号 C23F1/00;C23F1/08;H01J9/14;H01L21/306;H01L23/50;(IPC1-7):C23F1/08 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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