发明名称 A method for use in manufacturing a semiconductor device and a device made by the method
摘要
申请公布号 GB2288467(B) 申请公布日期 1997.11.19
申请号 GB19950006741 申请日期 1995.03.31
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 JOON * HWANG
分类号 H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/52 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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