发明名称 |
A method for use in manufacturing a semiconductor device and a device made by the method |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2288467(B) |
申请公布日期 |
1997.11.19 |
申请号 |
GB19950006741 |
申请日期 |
1995.03.31 |
申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
JOON * HWANG |
分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/52 |
主分类号 |
H01L21/027 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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