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发明名称
摘要
申请公布号	JP2679840(B2)	申请公布日期	1997.11.19
申请号	JP19890078632	申请日期	1989.03.31
申请人		发明人
分类号	H01L21/48;H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50	主分类号	H01L21/48
代理机构		代理人
主权项
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