| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA GENERATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09297103(A) |
申请公布日期 |
1997.11.18 |
| 申请号 |
JP19960110763 |
申请日期 |
1996.05.01 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
ENDOU MASAMORI;HAYASHIBARA HIROFUMI;HASE FUMIMASA |
| 分类号 |
G01N21/68;(IPC1-7):G01N21/68 |
主分类号 |
G01N21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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