| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING METHOD AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09298159(A) |
申请公布日期 |
1997.11.18 |
| 申请号 |
JP19960115108 |
申请日期 |
1996.05.09 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
TAKAHASHI KOUSEI;MATSUI KANEKI |
| 分类号 |
C30B23/08;C23C14/56;C30B23/02;C30B29/40;H01L21/203;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/203;H01S3/18 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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