发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION DE PIECES DE MICROMECANIQUE AYANT UNE PARTIE EN DIAMANT CONSTITUEE AU MOINS D'UNE POINTE, ET PIECES DE MICROMECANIQUE COMPORTANT AU MOINS UNE POINTE EN DIAMANT |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2739494(B1) |
申请公布日期 |
1997.11.14 |
申请号 |
FR19950011490 |
申请日期 |
1995.09.29 |
申请人 |
CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE SA |
发明人 |
NIEDERMANN PHILIPPE;CHRISTOPH RAINER F |
分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;G01B7/34;G01N27/00;G01Q70/14;H01J1/00;H01L21/00;H01L21/306;H01L49/00;(IPC1-7):H01L49/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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