发明名称 PROCEDE DE FABRICATION DE PIECES DE MICROMECANIQUE AYANT UNE PARTIE EN DIAMANT CONSTITUEE AU MOINS D'UNE POINTE, ET PIECES DE MICROMECANIQUE COMPORTANT AU MOINS UNE POINTE EN DIAMANT
摘要
申请公布号 FR2739494(B1) 申请公布日期 1997.11.14
申请号 FR19950011490 申请日期 1995.09.29
申请人 CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE SA 发明人 NIEDERMANN PHILIPPE;CHRISTOPH RAINER F
分类号 B81B3/00;B81C1/00;G01B7/34;G01N27/00;G01Q70/14;H01J1/00;H01L21/00;H01L21/306;H01L49/00;(IPC1-7):H01L49/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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