低压汞灯恒压氩气冲洗排气法

摘要

本发明涉及一种低气压汞灯的排气方法。特别是一种将高纯氩气不间断恒流恒压冲洗真空系统，使灯封离期间的杂质气体浓度得以有效控制的一种方法。该方法由控制真空泵的抽速及充氩进气速率的大小来实现。其本质在于用高纯氩气不断将可能由外部泄漏进真空系统或由系统内表面自行释放出的杂质气体，迅速带出真空系统，同时灯管封口前所需注入的一定压力的氩气也完全得以保证。

主权项

1.一种能降低低压汞灯排气封离过程中杂质气体含量的方法，此方法是在封离的过程中向系统注入恒定压力的高纯氩气来实现的。其特征在于：(a)抽气、充氩气及封离是同时进行的；(b)真空泵抽气的速率及氩气流量是被控制的，其目的是将系统内的氩气压力控制在工艺规定的数值上。