感应位移传感器

摘要

一种感应位移传感器，包括第一元件或滑板(31)和呈现空间周期电磁特性，诸如窗(321)和横梁(322)的第二元件或标尺(32)。第一元件(31)包括一组绕组，例如三个交叠的曲折绕组(31A至31C)，以及连接到第一元件上所述绕组的电路，在所述绕组(31A)的至少一个绕组中产生电流，并测量因第二元件的空间周期性电磁特性状态对所述第一元件(31)至少一部分绕组(31B、31C)之电感量的影响。

主权项

1.一种感应位移传感器，包括可沿一条路径(X)相互相对移动的两个元件(1、2；31、32)以及电子装置(10)，所述元件上配备沿所述路径排列的绕组(1A至1D；31A至31C)，其电感量作为所述两个元件相对位移的周期性函数而改变，电子装置(10)则根据对所述绕组之电感量的测量而确定所述位移量，其特征在于，绕组(1A至1D；31A至31D)设置在所述两个元件的第一元件(1、31)上，其中，第二元件(2、32)沿所述路径呈现灵敏的空间周期为T的空间周期性的电磁特性(21、22；321、322)，以变换所述绕组的电感量，所述电子装置(10)连接到第一元件的所述绕组，以在至少一部分所述绕组中形成电流，并测量因第二元件的空间周期性电磁特性状态，对至少一部分所述第一元件绕组之电感量的影响。