Positional deviation detecting method and apparatus,申请号EP19910303846-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Positional deviation detecting method and apparatus
摘要
申请公布号	EP0455443(B1)	申请公布日期	1997.11.12
申请号	EP19910303846	申请日期	1991.04.29
申请人	CANON KABUSHIKI KAISHA	发明人	MATSUGU, MASAKAZU;SAITOH, KENJI;HATTORI, JUN;HOURYU, SAKAE
分类号	G03F9/00;(IPC1-7):G03F9/00	主分类号	G03F9/00
代理机构		代理人
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