发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09293729(A) 申请公布日期 1997.11.11
申请号 JP19960130645 申请日期 1996.04.27
申请人 DENSO CORP 发明人 SUZUKI MIKIMASA;IIDA MAKIO
分类号 H01L21/322;H01L21/8222;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/322;H01L21/822 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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