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发明名称 MANUFACTURE OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH09293691(A) 申请公布日期 1997.11.11
申请号 JP19960131141 申请日期 1996.04.26
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 HIRANO MAKOTO;SUGAWARA HIROHIKO;FUKAI YOSHINO;NISHIMURA KAZUMI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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