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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09293791(A) 申请公布日期 1997.11.11
申请号 JP19960105493 申请日期 1996.04.25
申请人 NEC CORP 发明人 INABA TAKASHI
分类号 H01L21/283;H01L21/3205;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/320 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
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