发明名称 |
SEMICONDUCTOR THIN FILM, MANUFACTURE THEREOF, SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09289165(A) |
申请公布日期 |
1997.11.04 |
申请号 |
JP19960336338 |
申请日期 |
1996.12.02 |
申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI;MIYANAGA SHOJI;KOYAMA JUN;FUKUNAGA KENJI |
分类号 |
H01L23/15;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L23/15 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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