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经营范围
发明名称
PERIPHERAL EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH09281712(A)
申请公布日期
1997.10.31
申请号
JP19960114305
申请日期
1996.04.10
申请人
NIKON CORP
发明人
MURAKAMI MASAKAZU;NARAKI TAKESHI;MACHINO KATSUYA
分类号
G02B6/00;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G02B6/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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