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经营范围
发明名称
ION IMPLANTER
摘要
申请公布号
JPH09283069(A)
申请公布日期
1997.10.31
申请号
JP19960091006
申请日期
1996.04.12
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
JINGUJI MASAYUKI
分类号
C23C14/48;H01J37/09;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/09
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
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