发明名称 |
METHOD FOR OBSERVING SURFACE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09281124(A) |
申请公布日期 |
1997.10.31 |
申请号 |
JP19960091181 |
申请日期 |
1996.04.12 |
申请人 |
MITSUI TOATSU CHEM INC |
发明人 |
FUKUDA SHIN;KAWAMOTO SATOSHI;YAMAMOTO SADAAKI;FUKUDA NOBUHIRO |
分类号 |
G01B21/30;G01N1/28;G01N37/00;G01Q10/00;G01Q30/08;G01Q30/20;G01Q60/24;G01Q70/00;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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