发明名称 WAVEGUIDE-TYPE SEMICONDUCTOR LIGHT-RECEIVING ELEMENT AND ITS MANUFACTURE METHOD
摘要
申请公布号 JPH09283786(A) 申请公布日期 1997.10.31
申请号 JP19960097896 申请日期 1996.04.19
申请人 NEC CORP 发明人 TAGUCHI KENSHIN;TAKEUCHI TAKESHI
分类号 H01L31/10;(IPC1-7):H01L31/10 主分类号 H01L31/10
代理机构 代理人
主权项
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