| 发明名称 |
SYSTEM FOR MEASURING ACCURACY OF ROTATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09280819(A) |
申请公布日期 |
1997.10.31 |
| 申请号 |
JP19960088523 |
申请日期 |
1996.04.10 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
UDA YUTAKA;TAKIZAWA HIDEKI;MITSUI KIMIYUKI |
| 分类号 |
G01B11/00;B23Q17/24;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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