发明名称 MANUFACTURE OF PROBER
摘要
申请公布号 JPH09281139(A) 申请公布日期 1997.10.31
申请号 JP19960263779 申请日期 1996.09.13
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 ZAMA SATORU;SUZUKI TAKUYA;YUZAWA HITOSHI
分类号 G01R1/06;G01R1/073;G01R31/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/06 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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