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发明名称 MAGNETIC CIRCUIT FOR PLASMA PLANAR MAGNETRON
摘要
申请公布号 RO112550(B1) 申请公布日期 1997.10.30
申请号 RO19960000879 申请日期 1996.04.29
申请人 INSTITUTUL DE FIZICA TEHNICA, IASI 发明人 FILIP DUMITRU;TOMORUG ANA ELISABETA;REGUS CRISTIAN
分类号 C23C14/35;H01J25/50;(IPC1-7):H01J25/50 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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