发明名称 |
TREATING DEVICE AND TREATMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09276775(A) |
申请公布日期 |
1997.10.28 |
申请号 |
JP19960115248 |
申请日期 |
1996.04.15 |
申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
MOTODA KIMIO;YAMAGUCHI TAKAMITSU;MATSUDA YOSHITAKA;KAWASAKI SATORU |
分类号 |
G03F7/16;B05C11/08;B05D1/40;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 |
主分类号 |
G03F7/16 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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