发明名称
摘要
申请公布号 JP2667360(B2) 申请公布日期 1997.10.27
申请号 JP19940032410 申请日期 1994.03.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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