发明名称 Method of removing an oxide film on a substrate
摘要
申请公布号 EP0376252(B1) 申请公布日期 1997.10.22
申请号 EP19890123964 申请日期 1989.12.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 NISHINO, HIROTAKA;HAYASAKA, NOBUO;OKANO, HARUO
分类号 H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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