| 发明名称 |
MEASURING INSTRUMENT FOR POLISHING EDGE SURFACE OF SAMPLE, DIE FOR RESIN SEALING OF SAMPLE AND METHOD OF POLISHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09275083(A) |
申请公布日期 |
1997.10.21 |
| 申请号 |
JP19960080088 |
申请日期 |
1996.04.02 |
| 申请人 |
SUMITOMO WIRING SYST LTD |
发明人 |
NAKAI HIROMICHI;SAKA YOSHIFUMI |
| 分类号 |
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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