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发明名称 METHOD OF PREPARING SILANE FOR SEMICONDUCTOR EQUIPMENT
摘要
申请公布号 RU2093463(C1) 申请公布日期 1997.10.20
申请号 RU19930002964 申请日期 1993.01.18
申请人 NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "RADIEVYJ INSTITUT IM.V.G.KHLOPINA" 发明人 KARELIN VLADIMIR A;SHPUNT LEV B
分类号 C01B33/04;(IPC1-7):C01B33/04 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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