| 发明名称 |
Method of forming coating film and apparatus therefor |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG43033(A1) |
申请公布日期 |
1997.10.17 |
| 申请号 |
SG19960002678 |
申请日期 |
1994.03.25 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
FUJIMOTO AKIHIRO;INADA HIROICHI;IINO HIROYUKI;KITAMURA SHINZI;DEGUCHI MASATOSHI;HASEBE KEIZO |
| 分类号 |
G03F7/16;H01L21/00;(IPC1-7):G03F7/16 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
