COATING SUBSTRATE

摘要

Beschichtungssubstrat, enthaltend ein Walzprodukt aus Aluminium oder Aluminiumlegierungen, für Dünnfilmbeschichtungen zur Herstellung von elektronischen Komponenten. Das Beschichtungssubstrat verhindert die Interdiffusion von Substratelementen und Dünnfilmbeschichtungselementen und ermöglicht das vollständige Überwachsen von Unebenheiten durch die Dünnfilmbeschichtungen. Die lokal vorhandenen Unebenheiten auf der zu beschichtenden Substratoberfläche, welche eine maximale, vertikal zur Substratoberfläche gemessene Ausdehnung von kleiner als 10 mu m und grösser als 0.1 mu m aufweisen, sind dergestalt, dass die Flanken der lokalen Unebenheiten vollständig einer senkrecht auf die Substratoberfläche auftreffenden Material-Deposition aussetzbar sind.