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发明名称 Gasleitungssystem für einen CVD-Reaktor
摘要
申请公布号 DE69405533(D1) 申请公布日期 1997.10.16
申请号 DE19946005533 申请日期 1994.03.10
申请人 GI CORP., HATBORO, PA., US 发明人 CHAN, JOSEPH, KINGS PARK, NEW YORK 11754, US;GARBIS, DENNIS, HUNTINGTON STATION, NEW YORK 11746, US;SAPIO, JOHN, HUNTINGTON STATION, NEW YORK 11746, US;LATZA, JOHN, LINDENHURST, NEW YORK 11757, US
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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