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发明名称 Transmissions-Elektronen-Mikroskop und dessen Anwendung
摘要
申请公布号 DE69311051(T2) 申请公布日期 1997.10.16
申请号 DE19936011051T 申请日期 1993.10.07
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TAKAHASHI, YOSHIO, KUNITACHI-SHI, TOKYO, JP;YAJIMA, YUSUKE, KOKUBUNJI-SHI, TOKYO, JP
分类号 H01J37/20;G01R33/02;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/26 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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