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发明名称 VERTICAL, PACKED-BED, FILM EVAPORATOR FOR HALIDE-FREE, SILICON-CONTAINING COMPOUNDS
摘要
申请公布号 EP0800489(A1) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 EP19950944370 申请日期 1995.12.19
申请人 CORNING INCORPORATED 发明人 CAIN, MICHAEL, B.
分类号 G02B6/00;B01D3/34;C03B8/04;C03B19/14;C03B37/014;C03B37/018;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;(IPC1-7):C03B37/014 主分类号 G02B6/00
代理机构 代理人
主权项
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