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发明名称 DAIYAMONDOTANKETSUSHOMAKUNOGOSEIHO
摘要
申请公布号 JP2662608(B2) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 JP19900253881 申请日期 1990.09.21
申请人 KAGAKU GIJUTSUCHO MUKIZAISHITSU KENKYUSHOCHO 发明人 SATO YOICHIRO;KAMO MUTSUKAZU;TANAKA TAKAO;FUJITA HIDEKI
分类号 C30B25/18;C30B29/04;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
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