| 发明名称 |
GARASUKIBANKANETSUHOHOOYOBISOCHI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2663281(B2) |
申请公布日期 |
1997.10.15 |
| 申请号 |
JP19880234833 |
申请日期 |
1988.09.21 |
| 申请人 |
SHIBAURA SEISAKUSHO KK |
发明人 |
HASEGAWA MASAHIKO;NAKAMURA MOTOHIKO |
| 分类号 |
C03B32/00;G09F9/00;H01L21/205;(IPC1-7):C03B32/00 |
主分类号 |
C03B32/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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