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发明名称 CHANERUHAISENHOHO
摘要
申请公布号 JP2663680(B2) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 JP19900135069 申请日期 1990.05.24
申请人 MATSUSHITA DENKI SANGYO KK 发明人 KAWAKAMI YOSHUKI;TOYONAGA MASAHIKO
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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