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发明名称 SHIRIKONHYOMENNOPATSUSHIBEESHONHOHOOYOBISOCHI
摘要
申请公布号 JP2663580(B2) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 JP19880293700 申请日期 1988.11.22
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 HIRAYAMA HIROYUKI
分类号 H01L21/31;C30B23/08;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/312;H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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