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发明名称
DENKAIKOKATORANJISUTA
摘要
申请公布号
JP2664174(B2)
申请公布日期
1997.10.15
申请号
JP19870323982
申请日期
1987.12.23
申请人
HITACHI SEISAKUSHO KK
发明人
YANOKURA EIJI;MIZUTA HIROSHI;HIRUMA TAKEYUKI;MORI MITSUHIRO;TAKAHASHI SUSUMU
分类号
H01L29/812;H01L21/338;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/338
主分类号
H01L29/812
代理机构
代理人
主权项
地址
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