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发明名称 MOSTORANJISUTAKANNOHAISENHOHO
摘要
申请公布号 JP2664204(B2) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 JP19880132764 申请日期 1988.06.01
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK;HITACHI CHO ERU ESU AI ENJINIARINGU KK 发明人 SHIRAISHI YOICHI;SAKAMI JUNYA;FUKUDA KAZUYUKI
分类号 H01L21/3205;G06F17/50;H01L21/82;H01L23/52;H01L27/118;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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