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发明名称 REINSTRAUM, INSBESONDERE FÜR SOI-BONDUNGEN
摘要
申请公布号 ATA159194(A) 申请公布日期 1997.10.15
申请号 AT19940001591 申请日期 1994.08.17
申请人 THALLNER AYA MARIA 发明人
分类号 B01L1/04;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B01L1/04
代理机构 代理人
主权项
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